Оже-микроскоп
микроскоп, в котором изображениe поверхности формируется с помощью Оже-электронов.
Резист
Предмет
Материаловедение
👍 Проверено
Автор24
материал, изменяющий свои физико-химические свойства под воздействием определенного излучения и предназначенный для формирования рельефного изображения в процессе литографии.
Научные статьи на тему «Резист»
Наноэлектроника
применение метода тиснения происходит механическое вдавливание жесткого штампа в полимерную пленку резиста
Статья от экспертов
Аморфный оксид ванадия - резист для нанолитографии
Показана возможность использования тонких пленок аморфного оксида ванадия в качестве резиста для электронно-лучевой нанолитографии. Разработаны научно-технические основы процессов нанесения резиста, экспонирования и проявления, в том числе при помощи плазмохимического травления. Установлены основные параметры оксидно-ванадиевого резиста, в частности, высокая чувствительность (~ 10 -100 мкКл/см2) и высокое разрешение (
Creative Commons
Научный журнал
Передача цепи как метод модификации резиста на основе полиметилметакрилата
Предложен прием повышения чувствительности полиметилметакрилата как резиста субмикронной литографии к электронному лучу и рентгеновскому излучению синхротронного источника путем реакции передачи цепи на дисиланы различного химического строения при синтезе полимера.
Creative Commons
Научный журнал
Еще термины по предмету «Материаловедение»
Полиэфиропласт
реактопласт, который формируется в результате отверждения ненасыщенной полиэфирной смолы.
Порошковый материал
материал, изготовленный из металлического порошка или из его смеси с неметаллическим порошком.
- Негативный резист
- Позитивный резист
- Адгезия пленки резиста
- Разрешающая способность резиста
- Возврат
- Дифракция
- Закалка струями (операция)
- Закалочные трещины
- Запрещенная энергетическая зона
- Зеркало
- Зона проводимости полупроводника
- Имитатор платины
- Имитатор серебра
- Магнитомягкий материал
- Многоэлектродный элемент
- Науглероживаниe (процесс)
- Поливинилацетат; ПВАЦ
- Полиэфиропласт
- Полярон
- Прессовочная трещина, расслой
Повышай знания с онлайн-тренажером от Автор24!
- Напиши термин
- Выбери определение из предложенных или загрузи свое
- Тренажер от Автор24 поможет тебе выучить термины с помощью удобных и приятных карточек