Оже-микроскоп
микроскоп, в котором изображениe поверхности формируется с помощью Оже-электронов.
свойство резиста, характеризующее способность слоя резиста препятствовать проникновению к подложке жидких реагентов, используемых в процессах литографии.
микроскоп, в котором изображениe поверхности формируется с помощью Оже-электронов.
способность металла (сплава) сопротивляться образованию на его поверхности окалины.
химическоe соединениe элемента с кислородом.