Дифракционный контраст
контраст на изображении, возникающий вследствие дифракции излучения.
Позитивный резист
Предмет
Материаловедение
👍 Проверено
Автор24
резист, у которого под воздействием излучения стойкость к травителям уменьшается.
Научные статьи на тему «Позитивный резист»
Резисты с химическим усилением на основе гомополимера трет-бутоксикарбонилоксистирола и его сополимеров с метилметакрилатом
Исследованы кинетические закономерности процесса химического усиления в резисте на основе поли-трет-бутоксикарбонилоксистирола и триарилсульфониевой соли в качестве фоточув-ствительного генератора кислоты. Показано, что метилметакрилат может быть использован для модификации резиста с целью получения позитивного изображения. Изучено влияние состава сополимера трет-бутоксикарбонилоксистирола с метилметакрилатом на чувствительность резистов к непрерывному УФ-излучению (254 нм) и импульсному излучению KrF-лазера (248 нм).
Creative Commons
Научный журнал
Некоторые особенности нового метода формирования микрорельефа путём прямого электронно-лучевого травления резиста
Представлены некоторые результаты, касающиеся механизма, особенностей и практических возможностей предложенного авторами прямого метода формирования изображения в некоторых позитивных резистах непосредственно в процессе экспонирования электронным лучом в вакууме. На примере резиста из полиметилметакрилата показано, в частности, что этот метод удобен для получения микрои наноструктур со скруглённым профилем сечения, а также для получения пространственных 3D-структур с хорошей точностью вертикальных размеров изображения и низкой шероховатостью поверхности. Представленные данные в целом, по мнения авторов, указывают на потенциальные прикладные возможности предлагаемого метода, в частности, для изготовления дифракционных оптических элементов.
Creative Commons
Научный журнал
Еще термины по предмету «Материаловедение»
Линейная скорость роста
скорость увеличения линейного размера кристалла.
Оже-спектрометр
прибор для проведения Оже-спектроскопии.
- Резист
- Негативный резист
- Позитивная макроэкономика
- Позитивный анализ
- Регуляция позитивная
- Позитивное право
- Дезинтеграция позитивная
- Позитивная психотерапия
- Внимание позитивное
- Ошибка позитивная
- Подкрепление позитивное
- Трансфер позитивный
- Позитивная дискриминация
- Условие позитивное
- Позитивный процесс
- Адгезия пленки резиста
- Разрешающая способность резиста
- Позитивная экономическая теория
- Лифт с позитивным приводом
- Юридическое позитивное связывание
Повышай знания с онлайн-тренажером от Автор24!
- Напиши термин
- Выбери определение из предложенных или загрузи свое
- Тренажер от Автор24 поможет тебе выучить термины с помощью удобных и приятных карточек
