Справочник от Автор24
Найди эксперта для помощи в учебе
Найти эксперта
+2

Позитивный резист

Предмет Материаловедение
👍 Проверено Автор24

резист, у которого под воздействием излучения стойкость к травителям уменьшается.

Научные статьи на тему «Позитивный резист»

Резисты с химическим усилением на основе гомополимера трет-бутоксикарбонилоксистирола и его сополимеров с метилметакрилатом

Исследованы кинетические закономерности процесса химического усиления в резисте на основе поли-трет-бутоксикарбонилоксистирола и триарилсульфониевой соли в качестве фоточув-ствительного генератора кислоты. Показано, что метилметакрилат может быть использован для модификации резиста с целью получения позитивного изображения. Изучено влияние состава сополимера трет-бутоксикарбонилоксистирола с метилметакрилатом на чувствительность резистов к непрерывному УФ-излучению (254 нм) и импульсному излучению KrF-лазера (248 нм).

Научный журнал

Некоторые особенности нового метода формирования микрорельефа путём прямого электронно-лучевого травления резиста

Представлены некоторые результаты, касающиеся механизма, особенностей и практических возможностей предложенного авторами прямого метода формирования изображения в некоторых позитивных резистах непосредственно в процессе экспонирования электронным лучом в вакууме. На примере резиста из полиметилметакрилата показано, в частности, что этот метод удобен для получения микрои наноструктур со скруглённым профилем сечения, а также для получения пространственных 3D-структур с хорошей точностью вертикальных размеров изображения и низкой шероховатостью поверхности. Представленные данные в целом, по мнения авторов, указывают на потенциальные прикладные возможности предлагаемого метода, в частности, для изготовления дифракционных оптических элементов.

Научный журнал

Еще термины по предмету «Материаловедение»

Иллиум

сложнолегированные никелевые кислотостойкие сплавы, содержат 18-22% Сr, 6% Mo, 6% Fe, 6% Сu, 3% W, 2% Al, 0,02% Ti.

🌟 Рекомендуем тебе
Смотреть больше терминов

Повышай знания с онлайн-тренажером от Автор24!

  1. Напиши термин
  2. Выбери определение из предложенных или загрузи свое
  3. Тренажер от Автор24 поможет тебе выучить термины с помощью удобных и приятных карточек
Все самое важное и интересное в Telegram

Все сервисы Справочника в твоем телефоне! Просто напиши Боту, что ты ищешь и он быстро найдет нужную статью, лекцию или пособие для тебя!

Перейти в Telegram Bot