Ангстрем
внесистемная единица длины, равная 10⁻¹⁰ м.
Негативный резист
Предмет
Материаловедение
👍 Проверено
Автор24
резист, у которого под воздействием излучения стойкость к травителям увеличивается.
Научные статьи на тему «Негативный резист»
Литография нанометрового разрешения на основе напыляемого полистирола
Разработан метод изготовления предельно малых металлических наноструктур с использованием коммерчески доступного низкомолекулярного полистирола в качестве негативного резиста для электронной литографии, наносимого методом термического испарения. Метод позволяет формировать структуры с высоким (5--10 нм) пространственным разрешением на поверхности произвольной формы и демонстрирует высокий процент выхода годных образцов. Разработаны технологические процессы и приведены их параметры для изготовления массивов параллельных полосок, точек, сходящихся электродов и электродов с нанозазорами. Продемонстрирована возможность создания наноструктур на острие кантилевера сканирующего зондового микроскопа.
Creative Commons
Научный журнал
ШАБЛОНЫ ДЛЯ ГЛУБОКОЙ РЕНТГЕНОЛИТОГРАФИИ
Описана достаточно простая технология производства характеризующихся высокими уровнями рентгенопрозрачности, геометрической стабильности и прочности рентгенолитографических шаблонов с тонкими (толщиной ~ 40÷120 мкм) несущими мембранами на основе нового материала - эпоксидографита, представляющего собой заполимеризованную эпоксидную смолу с графитовым наполнителем. Разновидностью данного материала, является суграфит, где в качестве связующей основы используется разработанный на базе эпоксидных смол промышленно выпускаемый негативный резист SU-8.Шаблоны из суграфита внешне и по основным литографическим характеристикам ничем не отличаются от эпоксидографитовых, но имеют ряд дополнительных преимуществ, а именно, они характеризуются более высокими уровнями радиационной и температурной стойкости (температурный предел их разрушения ~ 380°С), что обеспечивает возможность проведения с ними высокотемпературных операций (до 250°С).Дополнительным преимуществом эпоксидографитовых шаблонов, вытек...
Creative Commons
Научный журнал
Еще термины по предмету «Материаловедение»
Поливинилацетат; ПВАЦ
полимер винилацетата.
Прессовочная трещина, расслой
трещина в прессовке, возникающая в процессе прессования порошка.
- Резист
- Позитивный резист
- Адгезия пленки резиста
- Разрешающая способность резиста
- Негативный отбор
- Негативный спрос
- Регуляция негативная
- Негативный залог
- Негативные эмоции
- Ошибка негативная
- Подкрепление негативное
- Трансфер негативный
- Леверидж негативный
- Условие негативное
- Спрос негативный
- Негативные обстоятельства
- Негативные следы
- Негативное воздействие вод
- Юридическая ответственность (негативная)
- Негативная психологическая установка
Повышай знания с онлайн-тренажером от Автор24!
- Напиши термин
- Выбери определение из предложенных или загрузи свое
- Тренажер от Автор24 поможет тебе выучить термины с помощью удобных и приятных карточек
