Справочник от Автор24
Найди эксперта для помощи в учебе
Найти эксперта
+2

Негативный резист

Предмет Материаловедение
👍 Проверено Автор24

резист, у которого под воздействием излучения стойкость к травителям увеличивается.

Научные статьи на тему «Негативный резист»

Литография нанометрового разрешения на основе напыляемого полистирола

Разработан метод изготовления предельно малых металлических наноструктур с использованием коммерчески доступного низкомолекулярного полистирола в качестве негативного резиста для электронной литографии, наносимого методом термического испарения. Метод позволяет формировать структуры с высоким (5--10 нм) пространственным разрешением на поверхности произвольной формы и демонстрирует высокий процент выхода годных образцов. Разработаны технологические процессы и приведены их параметры для изготовления массивов параллельных полосок, точек, сходящихся электродов и электродов с нанозазорами. Продемонстрирована возможность создания наноструктур на острие кантилевера сканирующего зондового микроскопа.

Научный журнал

ШАБЛОНЫ ДЛЯ ГЛУБОКОЙ РЕНТГЕНОЛИТОГРАФИИ

Описана достаточно простая технология производства характеризующихся высокими уровнями рентгенопрозрачности, геометрической стабильности и прочности рентгенолитографических шаблонов с тонкими (толщиной ~ 40÷120 мкм) несущими мембранами на основе нового материала - эпоксидографита, представляющего собой заполимеризованную эпоксидную смолу с графитовым наполнителем. Разновидностью данного материала, является суграфит, где в качестве связующей основы используется разработанный на базе эпоксидных смол промышленно выпускаемый негативный резист SU-8.Шаблоны из суграфита внешне и по основным литографическим характеристикам ничем не отличаются от эпоксидографитовых, но имеют ряд дополнительных преимуществ, а именно, они характеризуются более высокими уровнями радиационной и температурной стойкости (температурный предел их разрушения ~ 380°С), что обеспечивает возможность проведения с ними высокотемпературных операций (до 250°С).Дополнительным преимуществом эпоксидографитовых шаблонов, вытек...

Научный журнал

Еще термины по предмету «Материаловедение»

Зона равноосных кристаллов

расположена в центре слитка, где нет определённой направленности теплоотвода; состоит из крупных равноосных зерён (их размеры примерно одинаковы по всем направлениям).

🌟 Рекомендуем тебе

Окалиностойкость

способность металла (сплава) сопротивляться образованию на его поверхности окалины.

🌟 Рекомендуем тебе

Полиэфирная пластмасса

пластмасса с использованием полимеров, в которых повторяющиеся структурные звенья в цепях относятся к эфирному типу и также присутствуют другие типы повторяющихся структурных звеньев, причем сложноэфирный компонент или компоненты представлены в наибольшем количестве.

🌟 Рекомендуем тебе
Смотреть больше терминов

Повышай знания с онлайн-тренажером от Автор24!

  1. Напиши термин
  2. Выбери определение из предложенных или загрузи свое
  3. Тренажер от Автор24 поможет тебе выучить термины с помощью удобных и приятных карточек
Все самое важное и интересное в Telegram

Все сервисы Справочника в твоем телефоне! Просто напиши Боту, что ты ищешь и он быстро найдет нужную статью, лекцию или пособие для тебя!

Перейти в Telegram Bot