Ангстрем
внесистемная единица длины, равная 10⁻¹⁰ м.
Резист
Предмет
Материаловедение
👍 Проверено
Автор24
материал, изменяющий свои физико-химические свойства под воздействием определенного излучения и предназначенный для формирования рельефного изображения в процессе литографии.
Научные статьи на тему «Резист»
Наноэлектроника
применение метода тиснения происходит механическое вдавливание жесткого штампа в полимерную пленку резиста
Статья от экспертов
Аморфный оксид ванадия - резист для нанолитографии
Показана возможность использования тонких пленок аморфного оксида ванадия в качестве резиста для электронно-лучевой нанолитографии. Разработаны научно-технические основы процессов нанесения резиста, экспонирования и проявления, в том числе при помощи плазмохимического травления. Установлены основные параметры оксидно-ванадиевого резиста, в частности, высокая чувствительность (~ 10 -100 мкКл/см2) и высокое разрешение (
Creative Commons
Научный журнал
Передача цепи как метод модификации резиста на основе полиметилметакрилата
Предложен прием повышения чувствительности полиметилметакрилата как резиста субмикронной литографии к электронному лучу и рентгеновскому излучению синхротронного источника путем реакции передачи цепи на дисиланы различного химического строения при синтезе полимера.
Creative Commons
Научный журнал
Еще термины по предмету «Материаловедение»
Дифракция
рассеяние лучей или элементарных частиц кристаллами или молекулами жидкостей и газов.
Полистирол; ПС
полимер стирола.
- Негативный резист
- Позитивный резист
- Адгезия пленки резиста
- Разрешающая способность резиста
- Водопоглощение диэлектрика
- Волокниты
- Время открытой выдержки при склеивании (время открытой сборки при склеивании)
- Вспенивающийся клей
- Дифракционный максимум
- Закалка струями (операция)
- Запрещенная энергетическая зона
- Изоформинг
- Иллиум
- Магнитомягкий материал
- Оже-спектрометр
- Поливинилацетат; ПВАЦ
- Полистирольная пластмасса
- Полиэфиропласт
- Прессовочная трещина, расслой
- Сополимер
Повышай знания с онлайн-тренажером от Автор24!
- Напиши термин
- Выбери определение из предложенных или загрузи свое
- Тренажер от Автор24 поможет тебе выучить термины с помощью удобных и приятных карточек
