Аналоговая голограмма; физическая голограмма

ОЦЕНКА ДОПУСТИМЫХ ОШИБОК ПОЗИЦИОНИРОВАНИЯ ПИКСЕЛОВ ПРИ ОТОБРАЖЕНИИ НА НОСИТЕЛЕ СИНТЕЗИРОВАННЫХ ГОЛОГРАММ-ПРОЕКТОРОВ ДЛЯ ПРОЕКЦИОННОЙ ФОТОЛИТОГРАФИИ

Предмет исследования. Проведена оценка допустимых ошибок позиционирования при отображении отражательных рельефно-фазовых голограмм-проекторов, предназначенных для использования в голографической фотолитографии, на твердом носителе с помощью установок электронно-лучевой литографии. Метод. В работе применен метод синтеза и численного восстановления голограмм-проекторов. Синтез голограмм осуществлялся путем математического моделирования физических процессов записи и восстановления голограмм. Выбраны следующие параметры: характеристический размер бинарного объекта 20 × 20 нм или 80 × 80 нм, длина волны используемого излучения 13,5 нм, размер пиксела голограммы 20 × 20 нм, расстояние между плоскостями объекта и голограммы от 20,4 до 31,6 мкм, угол падения плоской опорной волны 14°42′. Для каждого рассмотренного объекта «Уголки», «Штриховая мира» и «Крупные уголки» выполнен синтез четырех голограмм с разной величиной среднеквадратического отклонения ошибок позиционирования пикселов. Модел...