Эпитаксия, эпитаксиальная кристаллизация
ориентированное нарастание слоя одной кристаллической фазы на определенным образом ориентированной монокристаллической подложке - другой кристаллической фазе; различают гомоэпитаксию - ориентированное нарастание эпитаксиального слоя на подложке при небольшом различии составов подложки и слоя (на доли процента) и гетероэпитаксию - ориентированное нарастание кристаллического слоя на „чужой” подложке в большинстве случаев при абсолютном различии составов подложки и слоев.