Ангстрем
внесистемная единица длины, равная 10⁻¹⁰ м.
параметр резиста, количественно характеризующий способность к изменению под воздействием актиничного светового потока химических свойств с переходом в нерастворимое (негативный) или растворимое (позитивный) состояние.
Для светочувствительного компонента промышленных позитивных фоторезистов (1,2-нафтохинондиазид-5-сульфохлорид, промышленное наименование “Краситель N2”) был проведен термический анализ, а также расчетными и экспериментальными методами были определены показатели пожаровзрывоопасности.
Исследовано влияние добавок, образующих водородные связи со светочувствительным веществом, на качество фоторезистной маски. При введении таких добавок наблюдалось улучшение разрешающей способности фоторезиста. Для изучения физико-химического механизма влияния использованы ИКспектроскопические методы. Получено экспериментальное подтверждение существования взаимосвязи между густотой водородных связей и разрешающей способностью фоторезиста.
внесистемная единица длины, равная 10⁻¹⁰ м.
процесс, происходящий при нагреве деформированного металла до температуры 0,3Тпл, при котором уменьшается плотность дефектов и происходит их перераспределение внутри зёрен, что приводит к некоторому снижению внутренней энергии и небольшому (на 10–15 %) уменьшению твёрдости и прочности.
пластмасса с использованием полимеров, в которых повторяющиеся структурные звенья в цепях относятся к эфирному типу и также присутствуют другие типы повторяющихся структурных звеньев, причем сложноэфирный компонент или компоненты представлены в наибольшем количестве.