Закалка ступенчатая
охлаждение после нагрева производится в расплаве щелочей при температуре немного выше температуры начала образования мартенсита, но до начала распада аустенита, а затем в воде или на воздухе.
параметр резиста, количественно характеризующий способность к изменению под воздействием актиничного светового потока химических свойств с переходом в нерастворимое (негативный) или растворимое (позитивный) состояние.
Для светочувствительного компонента промышленных позитивных фоторезистов (1,2-нафтохинондиазид-5-сульфохлорид, промышленное наименование “Краситель N2”) был проведен термический анализ, а также расчетными и экспериментальными методами были определены показатели пожаровзрывоопасности.
Исследовано влияние добавок, образующих водородные связи со светочувствительным веществом, на качество фоторезистной маски. При введении таких добавок наблюдалось улучшение разрешающей способности фоторезиста. Для изучения физико-химического механизма влияния использованы ИКспектроскопические методы. Получено экспериментальное подтверждение существования взаимосвязи между густотой водородных связей и разрешающей способностью фоторезиста.
охлаждение после нагрева производится в расплаве щелочей при температуре немного выше температуры начала образования мартенсита, но до начала распада аустенита, а затем в воде или на воздухе.
область значений энергии, которыми не могут обладать электроны в кристалле.
микроскоп, в котором изображениe поверхности формируется с помощью Оже-электронов.