Науглероживаниe (процесс)
увеличениe содержания углерода в поверхностном слоe металла (изделия).
параметр резиста, количественно характеризующий способность к изменению под воздействием актиничного светового потока химических свойств с переходом в нерастворимое (негативный) или растворимое (позитивный) состояние.
Для светочувствительного компонента промышленных позитивных фоторезистов (1,2-нафтохинондиазид-5-сульфохлорид, промышленное наименование “Краситель N2”) был проведен термический анализ, а также расчетными и экспериментальными методами были определены показатели пожаровзрывоопасности.
Исследовано влияние добавок, образующих водородные связи со светочувствительным веществом, на качество фоторезистной маски. При введении таких добавок наблюдалось улучшение разрешающей способности фоторезиста. Для изучения физико-химического механизма влияния использованы ИКспектроскопические методы. Получено экспериментальное подтверждение существования взаимосвязи между густотой водородных связей и разрешающей способностью фоторезиста.
увеличениe содержания углерода в поверхностном слоe металла (изделия).
способность металла (сплава) сопротивляться образованию на его поверхности окалины.
полимер этилена [этена].