Светочувствительность фоторезиста

Предмет Материаловедение

👍 Проверено Автор24

параметр резиста, количественно характеризующий способность к изменению под воздействием актиничного светового потока химических свойств с переходом в нерастворимое (негативный) или растворимое (позитивный) состояние.

Научные статьи на тему «Светочувствительность фоторезиста»

ИССЛЕДОВАНИЕ ПОЖАРОВЗРЫВООПАСНЫХ СВОЙСТВ НАФТОХИНОНДИАЗИДНОГО ФОТОРЕЗИСТА

Для светочувствительного компонента промышленных позитивных фоторезистов (1,2-нафтохинондиазид-5-сульфохлорид, промышленное наименование “Краситель N2”) был проведен термический анализ, а также расчетными и экспериментальными методами были определены показатели пожаровзрывоопасности.

Creative Commons

Научный журнал

Влияние межмолекулярных водородных связей на качество фоторезистных масок

Исследовано влияние добавок, образующих водородные связи со светочувствительным веществом, на качество фоторезистной маски. При введении таких добавок наблюдалось улучшение разрешающей способности фоторезиста. Для изучения физико-химического механизма влияния использованы ИКспектроскопические методы. Получено экспериментальное подтверждение существования взаимосвязи между густотой водородных связей и разрешающей способностью фоторезиста.

Creative Commons

Научный журнал

Еще термины по предмету «Материаловедение»

Дифракционный контраст

контраст на изображении, возникающий вследствие дифракции излучения.

Оже-микроскоп

микроскоп, в котором изображениe поверхности формируется с помощью Оже-электронов.

Оксид

химическоe соединениe элемента с кислородом.

Смотреть больше терминов

Повышай знания с онлайн-тренажером от Автор24!

Напиши термин
Выбери определение из предложенных или загрузи свое
Тренажер от Автор24 поможет тебе выучить термины с помощью удобных и приятных карточек

Все самое важное и интересное в Telegram

Все сервисы Справочника в твоем телефоне! Просто напиши Боту, что ты ищешь и он быстро найдет нужную статью, лекцию или пособие для тебя!

Перейти в Telegram Bot