Справочник от Автор24
Найди эксперта для помощи в учебе
Найти эксперта
+2

Катодное распыление

Предмет Материаловедение
Разместил 🤓 SetsukDro
👍 Проверено Автор24

распыление материала катода при газовом разряде вследствие бомбардировки катода положительными ионами; используется для нанесения тонких металлических покрытий, очистки поверхности, выявления структуры металлов.

Научные статьи на тему «Катодное распыление»

Влияние проникающей плазмы на свойства диэлектрика и границы раздела полупроводникдиэлектрик при реактивном катодном распылении

Проводится исследование влияния проникающей плазмы на свойства диэлектрических пленок SiO2, Si3N4, Al2O3 и границы раздела Si SiO2, Si Si3N4, Si Al2O3 при реактивном катодном распылении. Установлено, что наиболее благоприятные условия формирования пленок наблюдаются в случае осаждения на изолированный образец, на котором устанавливается плавающий потенциал 25-30 В. Растущая пленка поочередно подвергается воздействию электронов с энергией до 15 эВ и ионов с энергией не превышающей 10 эВ при плотности облучения 5 '1013частиц/смУ 1013частиц/ см2.

Научный журнал

Магнетронный разряд с жидкофазным катодом

Исследовано влияние фазового состояния мишени на коэффициенты катодного распыления при бомбардировке ионами аргона и ионами материала мишени. Исследования проведены на магнетронной распылительной системе с алюминиевыми и медными катодами. Продемонстрирована возможность работы магнетронной распылительной системы с жидкометаллическим катодом. Показана возможность работы жидкометаллического медного катода в режиме самораспыления. Исследована динамика изменения напряжения магнетронного разряда в режиме стабилизации тока при фазовом переходе материала катода из твердого состояния в жидкое. Оценены значения коэффициентов катодного распыления указанных материалов с поправкой на термическое испарение. Показана тенденция к увеличению коэффициента катодного распыления при переходе из твердого состояния в жидкое

Научный журнал

Еще термины по предмету «Материаловедение»

Волокниты

разновидность композиционных материалов – пластмассы, в которых наполнителем являются волокна различной природы (например, стеклянные, асбестовые).

🌟 Рекомендуем тебе
Смотреть больше терминов

Повышай знания с онлайн-тренажером от Автор24!

  1. Напиши термин
  2. Выбери определение из предложенных или загрузи свое
  3. Тренажер от Автор24 поможет тебе выучить термины с помощью удобных и приятных карточек
Все самое важное и интересное в Telegram

Все сервисы Справочника в твоем телефоне! Просто напиши Боту, что ты ищешь и он быстро найдет нужную статью, лекцию или пособие для тебя!

Перейти в Telegram Bot