распыление материала катода при газовом разряде вследствие бомбардировки катода положительными ионами; используется для нанесения тонких металлических покрытий, очистки поверхности, выявления структуры металлов.
Проводится исследование влияния проникающей плазмы на свойства диэлектрических пленок SiO2, Si3N4, Al2O3 и границы раздела Si SiO2, Si Si3N4, Si Al2O3 при реактивном катодном распылении. Установлено, что наиболее благоприятные условия формирования пленок наблюдаются в случае осаждения на изолированный образец, на котором устанавливается плавающий потенциал 25-30 В. Растущая пленка поочередно подвергается воздействию электронов с энергией до 15 эВ и ионов с энергией не превышающей 10 эВ при плотности облучения 5 '1013частиц/смУ 1013частиц/ см2.
Исследовано влияние фазового состояния мишени на коэффициенты катодного распыления при бомбардировке ионами аргона и ионами материала мишени. Исследования проведены на магнетронной распылительной системе с алюминиевыми и медными катодами. Продемонстрирована возможность работы магнетронной распылительной системы с жидкометаллическим катодом. Показана возможность работы жидкометаллического медного катода в режиме самораспыления. Исследована динамика изменения напряжения магнетронного разряда в режиме стабилизации тока при фазовом переходе материала катода из твердого состояния в жидкое. Оценены значения коэффициентов катодного распыления указанных материалов с поправкой на термическое испарение. Показана тенденция к увеличению коэффициента катодного распыления при переходе из твердого состояния в жидкое
процесс, происходящий при нагреве деформированного металла до температуры 0,3Тпл, при котором уменьшается плотность дефектов и происходит их перераспределение внутри зёрен, что приводит к некоторому снижению внутренней энергии и небольшому (на 10–15 %) уменьшению твёрдости и прочности.
интервал времени от нанесения клея до соединения склеиваемых поверхностей в условиях окружающей среды; время открытой выдержки необходимо для удаления растворителя из полимерного клеевого слоя, заполнения клеем неровностей и пор, вытеснения из них воздуха и образования на склеиваемой поверхности слоя клея равномерной толщины.
изделие из прозрачного стекла, на поверхность которого последовательно нанесены отражающее металлическое и защитное лакокрасочное покрытия, характеризующееся высоким коэффициентом отражения света.
Наведи камеру телефона на QR-код — бот Автор24 откроется на вашем телефоне
