Детерминированные помехи
наводки от импульсных напряжений на электродах и геометрический шум.
попадание рассеянного потока ионов на поверхность мишени.
наводки от импульсных напряжений на электродах и геометрический шум.
мощность, подводимая к излучателю лазера.
энергия, переносимая излучением импульсной лампы.