Гибридный силовой фильтр (Hybrid power filter)
фильтр высших гармоник, состоящий из пассивных звеньев типа LС-цепей, настроенных в резонанс на соответствующую rармонику тока (напряжения), и активных силовых фильтров.
попадание рассеянного потока ионов на поверхность мишени.
фильтр высших гармоник, состоящий из пассивных звеньев типа LС-цепей, настроенных в резонанс на соответствующую rармонику тока (напряжения), и активных силовых фильтров.
полупроводниковый диод, предназначенный для детектирования сигнала.
возврат электроэнергии в сеть.