Гибридный кварцевый генератор
кварцевый генератор, содержащий дискретные элементы и элементы, выполненные методом планарной технологии.
попадание рассеянного потока ионов на поверхность мишени.
кварцевый генератор, содержащий дискретные элементы и элементы, выполненные методом планарной технологии.
наводки от импульсных напряжений на электродах и геометрический шум.
энергия, переносимая излучением импульсной лампы.