процесс изменения физических или химических свойств приповерхностного слоя твердого тела путем внедрения соответствующих атомов потоком ионизированных частиц.
К широко распространенному технологическому методу (ионная имплантация) добавился ряд новых направлений...
на сегодняшний день успешное развитие наблюдается для таких методов радиационной технологии, как:
ионное...
излучения в действительности довольно большая, поэтому она может влиять на вещество, создавая при этом ионы
Данная статья носит краткий обзор метода ионного легирования. Интерес рассматриваемого метода заключается в точном контроле введения примеси и достижения большой концентрации. В основе статьи лежит обзор устройства ионной имплантации и описание стадий формирования ионного пучка. Рассмотрены физические явления, возникающие при данном легировании, а также преимущества и недостатки этого метода.
Исследованы продукты реакции, полученные при ионной имплантации азота, кислорода и фосфора в вольфрамовую мишень. Выяснены условия создания новых соединений при высокодозной имплантации, приводящей к процессам быстрого массопереноса ионов в материал мишени. Установлено, что ионная имплантация азота в вольфрам приводит к возникновению фазы внедрения W2N с ГЦК-структурой; имплантация кислорода к образованию фазы с плотноупакованной ГЦК-структурой, близкой по структуре и параметрам к W20; фосфора к образованию фосфида вольфрама W2P с орторомбической структурой после дополнительного отжига при температурах, превышающих 800-900 0С. Сделана оценка локального давления потока ионов на поверхность мишени, которое приводит к локальному искривлению кристаллической решетки, благодаря чему возможен быстрый массоперенос имплантированных ионов в материале мишени. Образование фаз внедрения при ионной имплантации является результатом локализации сдвиговой деформации в условиях ускоренного массоперен...
аббревиатура для обозначения критического значения вязкости разрушения при интенсивном напряжении при плоской деформации, что вызывает распространение трещины путем коррозионного растрескивания под напряжением данного материала в данной окружающей среде.
видимый при увеличениях свыше ×25.
полость литейной формы или матрицы, придающая отливке подобную форму.
