Справочник от Автор24
Нужна помощь?
Найдем эксперта за 5 минут
Подобрать эксперта
+2

Ионная имплантация, ионное легирование

Предмет Материаловедение
👍 Проверено Автор24

бомбардировка поверхности металла, полупроводника или диэлектрика ионами металлов и неметаллов, приводящая к изменению состава, структуры и свойств поверхности; глубина проникновения ионов в мишень тем больше, чем больше энергия ионов; ионы с энергией ∼ 10÷100 кэВ проникают на глубину 0,01÷1 мкм.

Научные статьи на тему «Ионная имплантация, ионное легирование»

Радиационная физика твердого тела

К широко распространенному технологическому методу (ионная имплантация) добавился ряд новых направлений...
на сегодняшний день успешное развитие наблюдается для таких методов радиационной технологии, как: ионное...
перемешивание; легирование материала ядрами отдачи; нейтронно-трансмутационное легирование; матричный...
излучения в действительности довольно большая, поэтому она может влиять на вещество, создавая при этом ионы

Статья от экспертов

Ионная имплантация

Данная статья носит краткий обзор метода ионного легирования. Интерес рассматриваемого метода заключается в точном контроле введения примеси и достижения большой концентрации. В основе статьи лежит обзор устройства ионной имплантации и описание стадий формирования ионного пучка. Рассмотрены физические явления, возникающие при данном легировании, а также преимущества и недостатки этого метода.

Научный журнал

РЕДКОЗЕМЕЛЬНОЕ ИЗЛУЧЕНИЕ ПЛЕНОК GaAs И AlxGa1-xAs, ВЫРАЩЕННЫХ И ЛЕГИРОВАННЫХ Yb МЕТОДОМ МОЛЕКУЛЯРНО-ЛУЧЕВОЙ ЭПИТАКСИИ

Получены слои GaAs и AlGaAs, легированные Yb в процессе молекулярно-лучевой эпитаксии. Проведены исследования фотолюминесценции таких слоев. Показано, что необходимым условием активации специфической люминесценции, связанной с ионами Yb3+, является дополнительное легирование (методом ионной имплантации) кислородом. Таким образом, процессы формирования люминесцентных комплексов на основе иона Yb3+ в слоях, выращенных и легированных методом молекулярно-лучевой эпитаксии, в основном те же, что и в объемном материале, легированном Yb методом ионной имплантации.

Научный журнал

Еще термины по предмету «Материаловедение»

Закалка ступенчатая

охлаждение после нагрева производится в расплаве щелочей при температуре немного выше температуры начала образования мартенсита, но до начала распада аустенита, а затем в воде или на воздухе.

🌟 Рекомендуем тебе

Полиэфиропласт

реактопласт, который формируется в результате отверждения ненасыщенной полиэфирной смолы.

🌟 Рекомендуем тебе
Смотреть больше терминов

Повышай знания с онлайн-тренажером от Автор24!

  1. Напиши термин
  2. Выбери определение из предложенных или загрузи свое
  3. Тренажер от Автор24 поможет тебе выучить термины с помощью удобных и приятных карточек
Попробовать тренажер