Применительно к размерному контролю 3D-объектов исследованы в аналитическом виде особенности формирования в дифракционно-ограниченной проекционной системе изображения объёмного асимметричного абсолютно поглощающего края - основного фрагмента толстых пластин постоянной толщины. Изучены структуры и профили интенсивностей в изображениях передней и задней граней соответственно при малых и больших апертурах оптической системы 3D-объекта для различных соотношений скоса объекта с , размера зоны Френеля d ~ ( l - длина волны света, d - толщина объекта) и угловой апертуры оптической системы. Показано, что в случае, когда скос с << d имеет место смещение профиля интенсивности изображения 3D-края, пропорциональное зоне Френеля и величине скоса. Получены и исследованы формулы для профиля изображений задней грани в случае сильных объёмных эффектов, когда глубина фокусировки системы много меньше толщины объекта. Полученные результаты находятся в согласии с результатами компьютерного моделир...
Представлен метод проектирования ультрафиолетового объектива для оптической литографии. Подход к проектированию подобного объектива заключается в разделении сложного объектива на два более простых. У первого, фронтального объекта предмет расположен на конечном расстоянии, а изображение в бесконечности. Вторая (приемная) часть литографического объектива представляет собой обычный фотообъектив. Простые объективы рассчитываются отдельно, а затем объединяются в один сложный объектив с последующей «сквозной» оптимизацией параметров. Стыковка двух частей литографического объектива выполняется в плоскости апертурной диафрагмы. Оба объектива проектируются по схеме с вынесенным входным зрачком. При выборе исходных оптических систем простых объективов использована программа с элементами искусственного интеллекта SYNOPSYS, OSD. Предложенный метод описывает шаги получения желаемой исходной оптической схемы и решает проблемы оптимизации системы с высокой апертурой. Продемонстрирован пример расче...