Гибридный силовой фильтр (Hybrid power filter)
фильтр высших гармоник, состоящий из пассивных звеньев типа LС-цепей, настроенных в резонанс на соответствующую rармонику тока (напряжения), и активных силовых фильтров.
половина угла расхождения траекторий электронов, падающих на объект.
фильтр высших гармоник, состоящий из пассивных звеньев типа LС-цепей, настроенных в резонанс на соответствующую rармонику тока (напряжения), и активных силовых фильтров.
радиочастоты 300-3000 ггц.
электрод электронно-лучевого прибора, служащий для создания потенциального барьера для ионов.