Дифракционный контраст
контраст на изображении, возникающий вследствие дифракции излучения.
резист, изменяющий свои физико-химические свойства под воздействием ускоренных электронов.
Исследован процесс деполяризации облученной электронным пучком тонкой диэлектриче ской пленки с учетом термоэлектретного эффекта. Установлено, что его появление приводит к увеличению скорости спада потенциала на поверхности мишени и возрастанию времени релак сации заряда в объеме образца. Показано, что термоэлектретный эффект может использоваться для косвенного измерения температуры электронорезистов в электронной литографии.
контраст на изображении, возникающий вследствие дифракции излучения.
коррозионный элемент, имеющий более двух электродов.
реактопласт, который формируется в результате отверждения ненасыщенной полиэфирной смолы.