Ангстрем
внесистемная единица длины, равная 10⁻¹⁰ м.
Электронорезист
Предмет
Материаловедение
👍 Проверено
Автор24
резист, изменяющий свои физико-химические свойства под воздействием ускоренных электронов.
Научные статьи на тему «Электронорезист»
Влияние термоэлектретного эффекта на разрядку облученного электронным пучком диэлектрика
Исследован процесс деполяризации облученной электронным пучком тонкой диэлектриче ской пленки с учетом термоэлектретного эффекта. Установлено, что его появление приводит к увеличению скорости спада потенциала на поверхности мишени и возрастанию времени релак сации заряда в объеме образца. Показано, что термоэлектретный эффект может использоваться для косвенного измерения температуры электронорезистов в электронной литографии.
Creative Commons
Научный журнал
Еще термины по предмету «Материаловедение»
Дифракционный максимум
максимум интенсивности рассеянных рентгеновских луче.
Науглероживаниe (процесс)
увеличениe содержания углерода в поверхностном слоe металла (изделия).
- Чувствительность электронорезиста к потоку электронов
- Ангстрем
- Дифракционный контраст
- Закалка струями (операция)
- Закалка ступенчатая
- Имитатор платины
- Имитатор серебра
- Линейная скорость роста
- Магнитомягкий материал
- Многоэлектродный элемент
- Науглероживаниe (процесс)
- Окалинообразованиe
- Оксид
- Полимеризация в массе
- Полистирол; ПС
- Полистирольная пластмасса
- Полиэтилен (полиэтен); ПЭ
- Полиэфирная пластмасса
- Полиэфиропласт
- Полярон
Повышай знания с онлайн-тренажером от Автор24!
- Напиши термин
- Выбери определение из предложенных или загрузи свое
- Тренажер от Автор24 поможет тебе выучить термины с помощью удобных и приятных карточек