Иллиум
сложнолегированные никелевые кислотостойкие сплавы, содержат 18-22% Сr, 6% Mo, 6% Fe, 6% Сu, 3% W, 2% Al, 0,02% Ti.
Электронорезист
Предмет
Материаловедение
👍 Проверено
Автор24
резист, изменяющий свои физико-химические свойства под воздействием ускоренных электронов.
Научные статьи на тему «Электронорезист»
Влияние термоэлектретного эффекта на разрядку облученного электронным пучком диэлектрика
Исследован процесс деполяризации облученной электронным пучком тонкой диэлектриче ской пленки с учетом термоэлектретного эффекта. Установлено, что его появление приводит к увеличению скорости спада потенциала на поверхности мишени и возрастанию времени релак сации заряда в объеме образца. Показано, что термоэлектретный эффект может использоваться для косвенного измерения температуры электронорезистов в электронной литографии.
Creative Commons
Научный журнал
Еще термины по предмету «Материаловедение»
Многоэлектродный элемент
коррозионный элемент, имеющий более двух электродов.
Сополимер
полимер, полученный из двух или более видов мономера.
- Чувствительность электронорезиста к потоку электронов
- Волокновый материал
- Временные напряжения
- Вспенивающийся клей
- Закалка струями (операция)
- Закалка ступенчатая
- Закалочные трещины
- Запрещенная энергетическая зона
- Зона проводимости полупроводника
- Иллиум
- Магнитомягкий материал
- Оже-микроскоп
- Оже-спектрометр
- Оксид
- Поливинилацетат; ПВАЦ
- Полистирол; ПС
- Полиэфирная пластмасса
- Полиэфиропласт
- Полярный диэлектрик
- Прессовочная трещина, расслой
Повышай знания с онлайн-тренажером от Автор24!
- Напиши термин
- Выбери определение из предложенных или загрузи свое
- Тренажер от Автор24 поможет тебе выучить термины с помощью удобных и приятных карточек