Разработан технологический процесс откачки электровакуумных приборов с ионно-плазменной очисткой электродов. Исследованы режимы и критерии очистки электродов в тлеющем разряде постоянного тока.
Рассмотрены конструкции и технология изготовления катодно-сеточных узлов для электровакуумных приборов СВЧ. Показано, что электроискровой способ изготовления сеток, специальным электродом за один технологический прием, позволяет добиться оптимального «совмещения» перемычек теневой и управляющей сеток в узле. Приспособление, описанное в статье, позволяет выставить с точностью ±0,01 катод относительно сетки. Описан метод оценки эмиссионной способности катода в составе узла.