Частота пьезоэлектрического резонатора при параллельном резонансе

Влияние адгезионных слоев в брэгговском отражателе на электрические характеристики тонкопленочного ОАВ-резонатора

Рассмотрены тонкопленочные ОАВ-резонаторы с брэгговским отражателем. ОАВ-резонатор представляет собой пьезоэлектрический преобразователь на пленках из нитрида алюминия с тонкопленочными алюминиевыми электродами и брэгговский отражатель, состоящий из четырех пар слоев пленок молибдена и диоксида кремния. Представлены аналитические исследования влияния адгезионных слоев (титана, кремния и ванадия) в брэгговском отражателе на его акустические характеристики и электрические характеристики ОАВ-резонатора. Показано, что адгезионные слои из ванадия оказывают наибольшее влияние на сдвиг резонансных частот резонатора и величину электрического импеданса на частоте параллельного резонанса. Резонаторы работают на частоте 4 ГГц и имеют добротность около 370 единиц.