Автоматизация измерений технологических параметров

Технологические параметры

Технологические параметры выбираются в зависимости от временной характеристики производственного процесса. Главная задача инженеров - технологов при организации производственного процесса заключается в выборе оптимального технологического режима.

Измерение технологических параметров

Важной составляющей любой системы управления являются датчики параметров функциональных подсистем и параметров обрабатываемых изделий. Разнообразие физико-термических процессов, которые реализуются в современном оборудовании, трудности измерения параметров создаваемых полупроводниковых структур делают задачу измерения весьма сложной. Главная тенденция развития измерительной техники - системное объединение и использование средств измерения. Объединение средств измерения в единую измерительную систему позволяет значительно увеличить эффективность измерительного эксперимента, выполнять его по заданной программе с проведением математической обработки информации в ходе эксперимента. Построение подобных систем для решения конкретных задач экономически не всегда оправдано, как правило, в связи со сложностью сопряжения отдельных приборов. Экономически нецелесообразно создание универсальных измерительных систем, которые могут решать множество задач, потому что такие системы обладали бы большой аппаратурной избыточностью.

Решение было найдено в создании Государственной системы приборов. Государственная система приборов предусматривает создание научно обоснованных рядов приборов и устройств с унифицированными характеристиками и конструктивным выполнением. Устройства системы приборов, которые предназначены для решения определенных измерительных задач, объединяются в агрегатные комплексы. Изделия, входящие в агрегатные комплексы, должны легко сопрягаться друг с другом, не оказывать взаимного влияния, обладать одинаковыми условиями эксплуатации. Для этого они должны обладать совместимостью. Различают пять видов совместимости изделий:

1. Энергетическая.
2. Информационная.
3. Конструктивная.
4. Метрологическая.
5. Эксплуатационная.

Энергетическая совместимость предполагает выбор одного рода энергии для носителя сигнала.

Метрологической совместимостью обеспечивается сопоставимость метрологических характеристик агрегатных средств, а также их сохранность во времени, возможность расчетного определения метрологических характеристик информационно-измерительной системы по метрологическим характеристикам отдельных составляющих.

Конструктивной совместимостью обеспечивается согласованность конструктивных параметров оборудования. С этой целью нормируются элементы конструкций, установочные размеры, стиль выполнения оформления.

Эксплуатационная совместимость обеспечивается за счет согласованности характеристик. С этой целью все средства делятся на группы по использованию, в зависимости от условий окружающей среды, климатических и механических воздействий и т.п.

Информационной совместимостью средств обеспечивается согласованность входных и выходных сигналов по виду, порядку обмена сигналами, диапазону изменения, Информационная совместимость определяется унификацией измерительных сигналов и применением стандартных интерфейсов. Унификация измерительных сигналов предполагает, что их параметры не могут выбираться произвольно и должны отвечать требованиям стандарта на данные сигналы.

В измерительной системе, которая создается на базе стандартной системы сопряжения, выделяются следующие группы функциональных устройств:

1. Источники, которые способны передавать цифровые данные в другие устройства и приборы.
2. Приемники, которые принимают цифровые данные от других элементов системы.
3. Источники-приемники, способные принимать и передавать данные.
4. Контроллеры, которые предназначены для управления системой.